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什么是MEMS振镜

    MEMS振镜是一种基于微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)技术制作而成的细小可驱动反射镜。镜面直径通常只有几毫米。与传统的光学扫描镜相比，拥有重量轻，体积小，出产成本较低的利益。在光学，机械机能和功耗方面阐发更为凸起。

图1：MEMS振镜工作示意图

      图2： 电磁式MEMS振镜

      MEMS振镜的活动方式蕴含平动和旋转两种机械活动。对于旋转MEMS振镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），能够实现激光的指向偏转、、、图形化扫描、、、图像扫描。

MEMS振镜的市场利用

      基于其特异的机能，MEMS振镜已渗入到消费电子、、、医疗、、、军事国防、、、通讯等领域。这其中有已经量产的利用，还有很多概念性的利用。重要利用领域有三个方面：激光扫描、、、光通讯、、、数字显示。激光扫描重要是指激光雷达、、、3D摄像头、、、条形码扫描、、、激光打印机、、、医疗成像；；光通讯重要指光分插复用器、、、光衰减器、、、光开关、、、光栅；；数字显示指高清电视、、、激光微投影、、、数字影院、、、汽车仰面显示（HUD）、、、激光键盘、、、加强现实（AR）等方面的利用。以下特对MEMS振镜在激光雷达和投影显示领域的利用情况。

      1.MEMS振镜在激光雷达方面的利用

      早在1960年激光雷达概念就已提出，近些年来激光雷达才进入迅速发展时期，学术界和产业界一致以为激光雷达是无人驾驶（蕴含自动驾驶车辆，AGV，UAV等）不成或缺的探测和传感部件。激光雷达可用于物体探测与躲避，物体鉴别与跟踪，即时定位与地图构建等。随着无人驾驶的急剧发展，对于激光雷达的需要日益增长。

      何为MEMS激光雷达？MEMS振镜（包办宏观机械式扫描器）通过在微观尺度上实现激光雷达发射端的光束把持，选取上述光束把持方式的激光探测和测距系统称为MEMS激光雷达。激光雷达选取MEMS振镜作为激光光束扫描元件，拥有体积小、、、宏观结构单一、、、靠得住性高、、、功耗低等优势，是目前激光雷达实现落地利用的最相宜的技术蹊径。

      一是MEMS振镜援手激光雷达脱节了笨重的马达、、、多棱镜等机械活动装置，毫米级尺寸的微振镜大大削减了激光雷达的尺寸，无论从美观度、、、车载集成度还是成本角度来讲，其优势都令人惊叹！！！

      第二，MEMS振镜的引入能够削减激光器和探测器数量，极大地降低成本。传统的机械式激光雷达要实现几多线束，就必要几多组发射？橛虢庸苣？椤６∪《维MEMS振镜，仅必要一束激光光源，通过一面MEMS振镜来反射激光器的光束。

图3：MEMS激光雷达的工作道理

      2.显示领域的利用

      微机电系统(MEMS)显示技术以卓越的图像质量而闻名，全球80%以上的数字影院都选取这种技术。此刻，尺寸、、、效能和亮度上的最新创新使这一成熟技术也可用于外形小巧且电池供电的设备，允许开发商、、、品牌厂商和系统集成商创建大量利用和设计产品，险些可将任何理论转换成高品质的高清投影显示器。如高清电视、、、激光微投影（手机、、、平板电脑和便携式投影仪等为载体）、、、数字影院、、、汽车仰面显示（HUD）、、、激光键盘、、、加强现实（AR）等。MEMS激光投影相比传统光源拥有不成比力的利益:

      色彩好、、、饱和度高

      激光投影机能实现弘远于传统光源的色彩空间，拥有极好的方向性，光束的发散立体角很小。

      寿命长，靠得住性好

     通常投影机的灯泡光源寿命通常在上千小时为极限，而激光光源的寿命能够达到数万小时之久，能够做到真正的免守护、、、高靠得住性。

      高功率、、、低能耗

     激光光源的功耗远低于氙灯灯泡，此外由于结构的原因，也不会有爆碎的风险。

图4：手机投影显示利用    

图5：手机投影显示利用

图6：汽车仰面显示（HUD）利用

图7：AR眼镜利用

（注：以上图片均起源于网络）

      同时在物联网领域，基于MEMS和MOEMS（微型光机电系统）技术的交互式投影？檎诔晌碌慕饩龉婊，通过该？榻楣褂没Ы缑嫱枷裢队暗嚼砺凵，并持续扫描，以检测用户的手势和交互，例如触摸、、、拖动或点击，无需受到物理节制拨号和按钮的故障，将为物联网和消费产品空间带来改革，为“打造越发智能的世界”阐扬巨大的作用。

HL8合乐官网MEMS振镜系统的布局及利用

      公司子公司HL8合乐官网微技术一向专一于光电转换和图像处置的仿照IC和数字IC产品的研发出产，通过其多年的光电转换技术堆集和自有晶圆出产线提供的产能保障，近年来一向布局MEMS振镜产品市场。

      目前HL8合乐官网微技术MEMS振镜的第一代产品重要利用于车用激光雷达的MEMS组件，已经实现小批量出产及销售。

表1：HL8合乐官网微技术MEMS振镜初代产品规格（激光雷达用）

      上表所示产品规格为HL8合乐官网微技术初代产品规格，目前有关指标已有较大水平的提升，其中用于车载激光雷达的更大直径即更大视场角的第二代MEMS振镜（φ4mm）产品也正在设计开发中；；同时HL8合乐官网微技术也正在研发面向激光投影显示等利用场景越发丰硕的MEMS振镜产品。

      基于MEMS振镜产品较高的技术门槛和宽泛利用远景，公司将牢牢把握现有优势，加快拓展MEMS振镜产品在车用激光雷达市场的销售规模，同时也将持续投入研发力量，尽快实现公司自有产品在激光投影、、、AR以及IOT显示领域的产业化利用。